Các EQ-GSL-3Z-103 là một hệ thống tích hợp của ba kênh MFC kiểm soát khí và bơm phân tử High Vacuum siêu lên đến 10E-7 Torr. 
Hệ thống kiểm soát khí được thiết kế để điều khiển từ 1-3 loại khí chảy qua chân không niêm phong lò ống MTI. Nó được cài đặt trong một giỏ hàng di động nhiệm vụ nặng nề mà lò ống có thể được đặt lên hàng đầu. Hệ thống chân không chứa một máy bơm phân tử và một máy bơm mechnical như bơm hậu thuẫn bên trong giỏ hàng điện thoại di động. Nó sử dụng các Pirani và chân không ion đo để đo tốc độ chân không và các giá trị thời gian thực sẽ được hiển thị ở mặt trước. Hệ thống tích hợp như là một công cụ lý tưởng để sử dụng với hầu hết các lò ống MTI để nghiên cứu ảnh hưởng của môi trường khí đốt cho vật liệu.

Thông số kỹ thuật

Cấu hình hệ thống chân không	Hệ thống hút chân không	Máy bơm chân không và hai cảm biến áp suất chân không và hiển thị được cài đặt trên đáy trường hợp giỏ hàng điện thoại di động Một máy bơm cơ khí quay như chân giai đoạn đầu tiên để đạt được chân không 10 -2 torr Một bơm phân tử như giai đoạn thứ hai để đạt được chân của 5 × 10 -7 torr. Màn hình hiển thị kỹ thuật số cài đặt trong chân không băng ghế dự bị di động sẽ hiển thị áp suất chân không hai của giai đoạn đầu và giai đoạn thứ hai Cảm biến độ chính xác chân không được cài đặt trên mặt bích bằng thép không gỉ ống chế biến ống thép không gỉ kết nối cảm biến chân không với bơm chân không
	Bơm cơ khí	Bơm Rate: 4L / S Công suất động cơ: 400W Áp lực Ultimate: 6 × 10 -2 Pa
	Bơm phân tử	Bơm Rate: 100L / S Điện Ultimate: 6 × 10 -6 Pa Thời gian khởi động: <2 Min. Tốc độ đánh giá: RPM 4300 Chế độ làm lạnh: Air / Nước làm lạnh
	Nguồn cung cấp của bơm phân tử	Điện áp: 200 ~ 240V Công suất đầu ra: 250W Acceleration Thời gian: 3 Min. Tần số ra: 704Hz ± 10% (tốc độ cao) 430Hz ± 10% (Low Speed)
	Compound hút chân không Máy đo	Working Voltage: 220V / 50 ~ 60Hz Kháng: 85 Ω Tự động bảo vệ:> 10Pa Đầu báo Gage Dải đo: 100 ~ 10 -5 Pa Pirani Gage Dải đo: 105 ~ 10 -1 Pa
	Van phanh	Easy-off bích-Interface Leak Rate: 5 × 10 -9 Pa · m3 / s
	Kết nối đường ống (Tube)	Thép Không Gỉ Electro đánh bóng Leak Rate: 10 -9 Pa · m3 / s
Hệ thống Gas Mixing	Ba Lễ luồng điều khiển	Làm việc điện áp: 185 ~ 245V / 50Hz Max. Công suất đầu ra: 18W Phạm vi điều khiển: Bộ điều khiển # 1: 1 ~ 100 SCCM khiển # 2: 20 ~ 200 SCCM khiển # 3: 50 ~ 500 SCCM Nhiệt độ làm việc: 5 ~ 45 ºC Max. Áp suất: 3x10 6 Pa Độ chính xác: ± 1% FS
	Đo áp suất cơ khí	Bốn đồng hồ đo áp lực cung cấp cho đọc liền cho bể trộn và 3 kênh pressure.Measurement Phạm vi : -0.1 ~ 0.15 MPa (0.01 MPa / grid)
	Needle Van	316 thép không gỉ
	Lắp đặt đường ống	Lắp đặt đường ống: 1/4 "Swagelok 12 '' chiều dài 1/4 "ID Nylon ống để sử dụng ngay lập tức
	Bình xăng trộn	Φ 80X120mm
	Dừng van	316 van kim thép không gỉ, Φ 1/4 "
Sự bảo đảm	Một năm bảo hành giới hạn cho phần điện tử và cơ khí, trừ yếu tố nhiệt và ống gốm bị hư hỏng do người sử dụng (Chú ý:. Sử dụng không đúng cách sẽ gây ra tất cả các khiếu kiện về trách nhiệm và bảo hành bị hủy bỏ sử dụng không đúng cách được coi là có tất cả sử dụng cho các mục đích sai lệch từ những đề cập ở dưới đây, đặc biệt là:   Bơm các phương tiện truyền thông có tính ăn mòn hoặc chất nổ. Bơm hơi ngưng tụ. Bơm chất lỏng. Bơm bụi. Hoạt động với mức độ cao không thích hợp của đầu vào nhiệt cách nhiệt. Hoạt động trong các lĩnh vực năng gây nổ.)
Ghi chú ứng dụng	Khi sử dụng máy bơm chân không, đó là khuyến cáo rằng Traps & Bộ lọc được sử dụng để giảm thiểu khí thải, bảo vệ môi trường mẫu và cũng là chân không bơm chính nó. Bảo vệ những phần bên trong các bộ phận của máy bơm chân không khỏi bị hư hỏng do hơi ngưng tụ và các hạt nhỏ bằng cách kết nối một cái bẫy lạnh hoặc bẫy hạt đến foreline bơm (xin vui lòng click vào hình ảnh dưới đây để biết chi tiết).
Hướng dẫn hoạt động
Kích thước	1000 L x 600 W x 700 H mm
Khối Lượng Tịnh	120kg
Trọng lượng	200kg
Sản phẩm liên quan	CVD & PECVD Furnace Click vào hình ảnh dưới đây để đặt bọt xà bông hoặc thiết bị bay hơi cho tim mạch