OTF-1200X-50-II-PE-MSL-UL là một hai vùng PE-CVD hệ thống lò nung ống trong đó bao gồm nguồn plasma 500W RF, tốc độ kiểm soát cơ chế khe trượt cố định, một pre-đun cho thăng hoa vật chất rắn và một loại dầu chất lượng cao bơm chân không -less. Như một lò PE-CVD là một công cụ mới để phát triển nano-wire và cho lớp phủ CVD của một loạt các vật liệu với các enefits b sau đây: 

• Xử lý nhiệt độ thấp hơn yêu cầu so với các bệnh tim mạch thông thường
• Nhiệt độ cao và tốc độ làm mát sử dụng lò trượt
• Vùng nhiệt kép để tạo ra nhiệt độ dốc lên đến 500ºC
• 1100ºC Max. Nhiệt độ làm việc trong lò ống
• 1100ºC Max. Nhiệt độ làm việc trong pre-đun cho pha hơi sưởi ấm hoặc làm bay hơi vật liệu rắn
• Nhanh chóng làm mát & sưởi ấm cho vật liệu nuôi 2D

SPECIFIATIONS: 

Hai lò ống Zone Chia    (Click vào hình để xem thông số kỹ thuật chi tiết)	Max 1100 º C để sưởi ấm liên tục Hai lập trình chính xác kỹ thuật số điều khiển nhiệt độ với 30 phân đoạn. Hai khu sưởi điều khiển riêng biệt 200mm chiều dài cho từng khu vực nóng Tổng chiều dài 400mm sưởi ấm 250mm hằng trung tâm khu vực sưởi ấm nhiệt độ nếu cả hai khu đã được làm nóng ở nhiệt độ như 500º C max chênh lệch nhiệt độ giữa hai vùng với cách nhiệt ở giữa Đầu vào điện: 208 - 240V AC đầu vào, giai đoạn duy nhất tại max. 4KW
Plasma RF Power Supply	Công suất đầu ra: 5 -500W điều chỉnh quá ± 1% ổn định. Tần số RF: 13,56 MHz ± 0,005% ổn định. Reflection Power: 200W max. Matching: Tự động RF Output Port: 50 Ω, N-type, nữ Tiếng ồn: <50 dB. Làm lạnh: làm mát không khí. Power: 208-240VAC, đơn pha, 50 / 60Hz
Lò Pre-sưởi ấm	Ống lò nhỏ với khu sưởi ấm duy nhất 200mm chiều dài Max. Nhiệt độ: 1100 º C 30 phân đoạn kiểm soát nhiệt độ lập trình Hơi đi qua các máy đầu tiên trước khi có được trong máy phát RF Plasma. Ngoài ra có thể đưa vật liệu rắn trong lò sưởi cho evporation và trộn với pha hơi. Quartz ống: 50mm x 44mm OD ID x 2200 mm L (ống OD 80mm có thêm phụ phí) Vacuum mặt bích: bao gồm
Chống ăn mòn đo áp suất	3.8x10 -5 đến 1125 Torr phạm vi đo lường Chống ăn mòn, khí loại độc lập Độ chính xác cao và độ tái lập tại bầu không khí để phát hiện áp suất khí quyển đáng tin cậy Phát hiện khí nhanh chóng loại bỏ thời gian chờ đợi và rút ngắn chu trình Dễ dàng để trao đổi plug & play yếu tố cảm biến Nhấn vào pic để xem thông số detal.
Oil-ít Trạm Bơm hút chân không và van	High Speed ​​Pfeiffer (226L / min) Oil-ít khô Bơm hút chân không, 10E-3 Torr Limit được cài đặt bên trong các nhiệm vụ nặng nề giỏ hàng điện thoại di động Bộ chuyển đổi KF25 và ống thép không gỉ được kết nối giữa máy bơm và ống mặt bích với van bóng chính xác cho các plug and play của khách hàng 10E-2 Torr chân không có thể đạt được bên trong ống chế biến
Trượt mechanisium	Trượt đường sắt và vít được xây dựng trong lò phía dưới, có thể di chuyển từ bên này sang bên khác như chương trình để đạt heatong nhanh hơn hoặc làm mát. Tốc độ trượt có thể điều chỉnh 0-70 mm / s
Sưởi & Làm lạnh giá	Cổng RS485 và phần mềm được cài đặt và cho phép thông số nhiệt độ điều khiển từ xa bằng máy tính (không bao gồm, khách hàng có thể đặt hàng một từ ở đây ) Để đạt được tốc độ Max.heating, người sử dụng phải làm nóng lò đến nhiệt độ mong muốn, sau đó trượt lò đến vùng mẫu của ống Để đạt được Max. tốc độ làm nguội, đẩy các lò làm nóng từ vùng nóng đến vùng lạnh Tỷ sưởi:   15 ° C / sec (RT - 150 ° C); 10 ° C / giây (150 ° C - 250 ° C); 7 ° C / giây (250 ° C - 350 ° C); 4 ° C / giây (350 ° C - 500 ° C); 3 ° C / giây (350 ° C - 550 ° C); 2 ° C / giây (550 ° C - 650 ° C);  1 ° C / giây (650 ° C - 800 ° C);  0,5 ° C / giây (800 ° C - 1000 ° C); Tỷ lệ làm lạnh: 15 ° C / sec (1000-950 ° C); 10 ° C / giây (950 ° C - 900 ° C); 7 ° C / giây (900 ° C - 850 ° C); 4 ° C / giây (850 ° C - 750 ° C); 2 ° C / giây (750 ° C - 600 ° C);  1,5 ° C / giây (600 ° C - 500 ° C);  1 ° C / giây (500 ° C - 400 ° C);  0,5 ° C / giây (400 ° C - 300 ° C);
Không bắt buộc	Hai - Bốn khối lượng chính xác đo lưu lượng (0.02% độ chính xác) với màn hình kỹ thuật số có sẵn như optionals, có thể thay thế các trường hợp dưới cùng để kiểm soát tốc độ dòng khí tự động với hệ thống. Vui lòng nhấn vào hình dưới bên trái để chọn một tại ngân sách của bạn. Click vào hình bên dưới - bên trái để đặt bọt xà bông hoặc thiết bị bay hơi cho tim mạch, và dưới đây phù hợp với mô-đun kiểm soát nhiệt độ không đổi
Thước tổng thể	Furnace: 550 x 380 x 520 mm Trượt đường sắt: đường sắt kép với chiều dài 1.750 mm Hai Liền kề dưới Các trường hợp Điện thoại di động: 1200 x 1200 x 1200mm. Trọng lượng tịnh: 220 Lbs. Trọng lượng vận chuyển: £ 1200.
Sự bảo đảm	Một năm bảo hành giới hạn với sự hỗ trợ trọn đời (phần tiêu hao như ống chế biến, O-ring và yếu tố làm nóng không được bảo hành, vui lòng đặt hàng thay thế ở các sản phẩm liên quan dưới đây).
Tuân	Built-in Pfeiffer của bơm là chứng chỉ giảng dạy tiếng Anh CE chứng nhận Tất cả các thành phần điện (> 24V) là UL / MET / CSA ​​chứng nhận Các lò đã sẵn sàng để vượt qua TUV (UL61010) hoặc chứng nhận CSA trả thêm phụ phí. (Vui lòng bấm vào dấu dưới đây để tìm hiểu thông tin chi tiết)
Ghi chú ứng dụng	Lò ống với ống thạch anh được thiết kế để sử dụng trong chân không và áp suất thấp <0,2 bar / 3 psi / 0.02 MPa Chú ý:. Do sản lượng khí có áp suất cao từ các xi lanh khí, nó là cần thiết để cài đặt bộ điều chỉnh áp suất khí với nó để giảm áp lực đầu ra, tránh overpressurizing buồng furance và đảm bảo hoạt động an toàn Click vào đây để tìm hiểu các cài đặt của một điều tiết khí. Tốc độ dòng chảy khí nên được giới hạn <200 SCCM (hoặc 200 ml / phút) để giảm sự thay đổi nhiệt cho ống Chân không giới hạn định nghĩa cho tất cả lò ống thạch anh: * áp lực chân không có thể chỉ được sử dụng một cách an toàn lên đến 1000 ° C Click vào đây để tìm hiểu Làm thế nào để thiết lập thạch anh / ống gốm và chân không mặt bích cho lò ống MTI . MTI bảo lưu quyền thay đổi thiết kế PE-CVD của mình bất cứ lúc nào mà không cần thông báo, nhưng hứa hẹn chất lượng trong các thiết kế trong tương lai đáp ứng và vượt quá các thông số kỹ thuật ở trên.