Ống Furnace 1500ºC Max.Three Zone PECVD (80 mm OD) với 4 kênh Gas giao hàng & Oil-ít Bơm hút chân không - OTF-1500X-80-III-4CV-PE-SL

Giá : Liên Hệ

Nội dung chi tiết:

OTF-1500X-80-III-4CV-PE-SL là ba vùng 1500 º C PE-CVD hệ thống lò nung ống bao gồm nguồn plasma 500W RF, 81Dx 2133mm ống mullite lò với một kênh chính xác lưu lượng mét tích hợp với khí bể trộn, và một máy bơm chân không dầu ít chất lượng cao. Như một lò PE-CVD là một công cụ mới để phát triển nano-wire hay graphene hoặc sơn SiC.: 

SPECIFIATIONS: 



Ba Zone 1500 ° C Chia ống lò 

 
  • Max 1500 º C, và 1400 º C sưởi ấm liên tục
  • Ba trình độ chính xác kỹ thuật số điều khiển nhiệt độ với 30 phân đoạn.
  • Ba khu sưởi điều khiển riêng biệt:
    • 200 mm / each (bao gồm khoảng cách 20 mm)
    • Tổng chiều dài khu: 600 mm
  • Ống gốm mullite xuất tại Mỹ, Kích thước: 81 x 73 OD ID x 2133 mm L
  • Đầu vào điện: 208 - 240V AC đầu vào, giai đoạn duy nhất tại max. 6.6KW.
  • Click vào ảnh dưới bên trái để xem thông số kỹ thuật chi tiết.
  • Vaccum kín mặt bích được bao gồm cho sử dụng ngay. Một đầu mặt bích có một wendow thạch anh, sothat plasma phát sáng có thể được nhìn thấy qua cửa sổ (nhấp vào hình ảnh bên dưới bên phải để xem chi tiết)


Plasma RF Power Supply 
 
  • Công suất đầu ra: 5 -500W điều chỉnh quá ± 1% ổn định.
  • Tần số RF: 13,56 MHz ± 0,005% ổn định.
  • Reflection Power: 200W max.
  • Matching: Tự động
  • RF Output Port: 50 Ω, N-type, nữ
  • Tiếng ồn: <50 dB.
  • Làm lạnh: làm mát không khí.
  • Power: 208-240VAC, đơn pha, 50 / 60Hz
Chống ăn mòn đo áp suất 
  • 3.8x10 -5 đến 1125 Torr phạm vi đo lường
  • Chống ăn mòn, khí loại độc lập
  • Độ chính xác cao và độ tái lập tại bầu không khí để phát hiện áp suất khí quyển đáng tin cậy
  • Phát hiện khí nhanh chóng loại bỏ thời gian chờ đợi và rút ngắn chu trình
  • Dễ dàng để trao đổi plug & play yếu tố cảm biến
  • Nhấn vào pic để xem thông số detal.
Oil-ít Trạm Bơm hút chân không và van
   
  •  High Speed ​​Pfeiffer (226L / min) Oil-ít khô Bơm hút chân không, 10E-3 Torr Limit được cài đặt bên trong các nhiệm vụ nặng nề giỏ hàng điện thoại di động
  • Bộ chuyển đổi KF25 và ống thép không gỉ được kết nối giữa máy bơm và ống mặt bích với van bóng chính xác cho các plug and play của khách hàng 
  • 10E-2 Torr chân không có thể đạt được bên trong ống chế biến     
 

Khối lượng dòng chảy m & Gas Trộn Trạm 
 
  
  • Bốn chính xác đo lưu lượng khối lượng (0.02% độ chính xác) với màn hình kỹ thuật số được cài đặt trên các trường hợp dưới cùng để kiểm soát tốc độ dòng khí tự động. Một khí bể trộn được cài đặt vào trường hợp dưới cùng với van phát hành lỏng.
    • MFC 1: dải lưu lượng khí từ 0 ~ 100 SCCM
    • MFC 2 & 3: Phạm vi điều khiển từ 0 ~ 200 SCCM
    • MFC 4: Phạm vi điều khiển từ 0 ~ 500 SCCM
  • Gas đầu vào phù hợp: bốn 1 / 4NPS.
  • Outlet Gas lắp: bốn 1 / 4NPS.
  • Power: 185-220VAC 50 / 60Hz
  • 4 không gỉ van kim thép được lắp đặt ở phía bên trái của trường hợp phía dưới để tự kiểm soát sự pha trộn của 4 loại khí.
  • Bốn dòng khí kênh được tích hợp vào một PLC với bảng điều khiển màn hình cảm ứng để điều khiển
  • (Tùy chọn: áp suất không đổi mô-đun điều khiển)



Nhiệt độ điều khiển 
  
  • Ba chính xác điều khiển nhiệt độ kỹ thuật số để kiểm soát vùng nhiệt ba độc lập
  • PID điều khiển tự động với 30 phân đoạn có thể lập trình để kiểm soát chính xác của tốc độ làm nóng, tốc độ làm mát và thời gian dừng tại.
  • Được xây dựng trong quá nóng và bảo vệ nhiệt điện bị hỏng.
  • Hơn nhiệt độ bảo vệ và báo động cho phép hoạt động mà không có tiếp viên (s).
  • +/- 1 ºC Độ chính xác nhiệt độ.
  • Ba K loại cặp nhiệt điện (một cho mỗi khu vực).
  • RS485 Cảng Truyền thông.
  • Tùy chọn:
    • Các lò có thể được vận hành bằng máy tính bằng cách cài đặt một module điều khiển . Xin vui lòng đặt một module điều khiển MTS-02 tại thêm chi phí.
    • Nếu bạn đặt hàng các module điều khiển máy tính cùng với lò, chúng tôi sẽ cài đặt và thử nghiệm nó trước khi vận chuyển. Chúng tôi khuyên bạn nên đặt mua một máy tính xách tay máy tính từ chúng tôi để tránh các vấn đề cài đặt phần mềm. Để biết thêm thông tin xin vui lòng bấm vào đây .
 

Thước tổng thể
  •  Furnace: 865 L x 654 W x 707 H mm
  • Trượt đường sắt: đường sắt kép với chiều dài 1.750 mm
  • Hai Liền kề dưới Các trường hợp Điện thoại di động: 1200 x 1200 x 1200mm.
  • Trọng lượng tịnh: 220 Lbs.
  • Trọng lượng vận chuyển: £ 1200.
Sự bảo đảm 
Một năm bảo hành giới hạn với sự hỗ trợ trọn đời (phần tiêu hao như ống chế biến, O-ring và yếu tố làm nóng không được bảo hành, vui lòng đặt hàng thay thế ở các sản phẩm liên quan dưới đây).


Tuân
  • CE chứng nhận
  • Tất cả các thành phần điện (> 24V) là UL / MET / CSA ​​chứng nhận
  • Các lò đã sẵn sàng để vượt qua TUV (UL61010) hoặc chứng nhận CSA trả thêm phụ phí. (Vui lòng bấm vào dấu dưới đây để tìm hiểu thông tin chi tiết)
           



Ghi chú ứng dụng
  • Các lò ống với ống mullite được thiết kế để sử dụng trong chân không và áp suất thấp <0.02 MPa / 0,2 Bar / 3 PSI
  • Chú ý: Một điều áp phải được cài đặt trên bình xăng đầu vào của bạn (kích vào ảnh dưới đây để xem lại) và có áp lực khí đầu ra đặt dưới 3 PSI ở tất cả các lần sau khi mở thùng xăng với khí được duy trì trong tình trạng chảy liên tục. Gas xây dựng với mức áp suất vượt qua 3 PSI có thể gây ra thiệt hại không thể đảo ngược vào buồng lò.
  • Không bao giờ làm nóng lò trong khi van gas phát hành là khép kín và một điều kiện áp lực dương tồn tại trong buồng lò. Các máy đo áp suất phải được sử dụng để giám sát chặt chẽ các điều kiện phòng ở tất cả các lần trong suốt quá trình làm nóng;bạn hãy mở van gas phát hành ngay lập tức một khi áp lực buồng đã đạt trên 3 PSI để ngăn chặn thiệt hại unforseeable.
  •  Click vào đây để tìm hiểu thêm về việc lắp đặt một tiết khí.
  • Tốc độ dòng chảy khí nên được giới hạn <200 SCCM (hoặc 200ml / min)
  • Chân không giới hạn định nghĩa cho tất cả lò ống mullite: * áp lực chân không có thể chỉ được sử dụng một cách an toàn lên đến 1300 ° C
 
Để lại lời nhắn
Họ tên
Email
Nội dung
 

Sản phẩm liên quan

Quảng cáo

Video

Thống kê

Số người đang online: 4
Số truy cập hôm nay: 1404
Tổng số người truy cập: 3143555

Tìm kiếm

Sản phẩm bán chạy

Box hình ảnh

Tin tức mới

  •  01 NAM NHÂN VIÊN KỸ THUẬT - VỀ THIẾT BỊ PTN LAB

    01 Nam kỹ thuật về Thiết bị Phòng thí nghiệm. Yêu cầu: Trình độ Đại học (Tốt nghiệp chuyên ngành Kỹ thuật: KHOA HỌC CÔNG NGHỆ VẬT LIỆU, Hóa học, Sinh học, Dược học, Vật Liệu, Nông lâm, Cơ Khí, Y Dược, Môi Trường, Vật Lý, Điện, Xây dựng...). ð Lương thỏa thuận, tùy theo năng lực: từ 5-7 triệu (Thử việc 1 tháng = 70% lương chính). Ngày đăng: 07/06/2019 có hiệu lực đến 31/12/2019

  •  Aero-X Hoverbike: Chiếc xe trượt không khí đầu tiên trên thế giới

    "Xe bay" Aero-X do công ty Aerofex thiết kế sẽ được hoàn thiện và bán ra thị trường vào năm 2017, được nhiều người kỳ vọng rằng đây sẽ là phương tiện giao thông của tương lai.

  •  Phân loại dầu,chức năng của dầu trong máy nén khí

    Mỗi hãng có một công loại dầu và đặc tính khác nhau hoặc gần giống nhau. Có nhiều cách để phân loại phân loại theo chỉ số nhớt hay các tiêu chuẩn, phụ gia...Về căn bản dầu công nghiệp được phân làm hai loại tùy vào gốc chiết suất ra nó. Dầu có gốc tổng hợp Dầu có gốc khoáng

  •  Cơ sở lý thuyết về khí nén

    Ứng dụng khí nén có từ thời trước Công nguyên, tuy nhiên sự phát triển của khoa học kỹ thuật thời đó không đồng bộ, nhất là kiến thức về cơ học, vật lý, vật liệu … còn thiếu, cho nên phạm vi ứng dụng của khí nén còn rất hạn chế.

  •  Học bổng trường đại học kỹ thuật Swinburne

    Đại học Kỹ thuật Swinburne được xếp vào Top 400 trường Đại học hàng đầu thế giới và Top 3 các Đại học tại Melbourne theo Bảng Xếp hạng học thuật các trường Đại học trên thế giới 2012 (Academic Rankings of World Universities).

Bản đồ

Tải về

Liên kết

Nhận email

Dịch

Hỗ trợ trực tuyến

  • Nam ý
    098 918 2955
  • Tư vấn
    090 265 9944
    • Hotline: 0902659944-0989182955

THIẾT BỊ R&D CHO PIN

TINH THỂ & VẬT LIỆU

CHUẨN BỊ MẪU

XỬ LÝ NHIỆT

THIẾT BỊ PHÂN TÍCH VẬT LIỆU

THIẾT BỊ KHÁC PHÒNG THÍ NGHIỆM

XỬ LÝ MẪU

Like facebook