Nhỏ gọn Auto-Sliding PECVD ống lò với 2 "OD Quartz ống và máy bơm chân không, Max.1200C,

Nhỏ gọn Auto-Sliding PECVD ống lò với 2 "OD Quartz ống và máy bơm chân không, Max.1200C, - OTF-1200X-50S-PE-SL

Giá : Liên Hệ

Nội dung chi tiết:

OTF-1200X-50S-PE-SL là một giá cả phải chăng và nhỏ gọn PE-CVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) hệ thống lò nung ống với cơ chế khe trượt cố định.Nó bao gồm một máy phát điện plasma 300W RF, 2 "chia OD ống lò và ray tích hợp khe trượt cố định mà cho phép bạn làm nóng trước và trượt lò đến vùng mẫu để có được mẫu của bạn tiếp xúc ngay lập tức dưới nhiệt độ cao. Hệ thống này có thể được cập nhật mô hình tiên tiến với các tùy chọn. Nó là công cụ lý tưởng cho các nhà nghiên cứu để thực hiện đổi mới theo ngân sách hạn chế.

Xử lý nhiệt độ thấp hơn so với tim mạch thông thường.

Nhiệt độ cao và tốc độ làm mát sử dụng lò trượt

Căng thẳng bộ phim có thể được kiểm soát bằng các kỹ thuật pha trộn cao / tần số thấp.

Kiểm soát lượng pháp thông qua điều kiện quá trình.

Có thể làm một loạt các lắng đọng vật liệu, bao gồm cả SiOx, sinx, SiOxNy và silicon vô định hình (a-Si: H) lắng đọng.

Thông số kỹ thuật:

Auto-Sliding lò ống Chia	Đầu vào điện: 208 - 240V AC, 1.2kW 1200 ° C Max. Nhiệt độ làm việc cho <60 phút 1100 ° C Max để sưởi ấm liên tục Ống thạch anh tinh khiết cao 2 "OD x 1.7" x 39,4 ID "Length 30 phân đoạn chính xác có thể lập trình điều khiển nhiệt độ kỹ thuật số 8 "(200mm), khu vực duy nhất. 2.3" (60mm) (+/- 1 ° C) @ 1000 ° C Những hình ảnh dưới đây cho thấy temp. phân phối trên khắp các vùng nóng, xin vui lòng nhấn vào đây để phóng to. Temp. hồ sơ phân phối
RF Plasma Generator	Công suất đầu ra: 5 -300W điều chỉnh quá ± 1% ổn định Tần số RF: 13,56 MHz ± 0,005% ổn định Reflection Power: 200W max. Matching: Tự động RF Output Port: 50 Ω, N-type, nữ Tiếng ồn: <50 dB. Làm lạnh: làm mát không khí. (Nước làm mát có sẵn theo yêu cầu, và một máy làm lạnh nước có thể được đặt hàng riêng biệt) Power: 208-240VAC, 50 / 60Hz Noe: Nước làm mát là cần thiết cho hoạt động thời gian dài
Mặt bích chân không và các phụ kiện	Vacuum bích bộ được làm bằng thép không gỉ 304. Mặt bích lắp ráp trái bao gồm một cổng chân không KF-25, hai KF-25 kẹp nhanh chóng, một van KF-25 ngay góc, một chân không KF-25 ống thổi, một hỗ trợ mặt bích, 3/8 OD gai phù hợp, và một van kim. Mặt bích lắp ráp bên phải bao gồm một máy đo kỹ thuật số Pirani, ống 1/4 OD lắp, 1/4 "feedthrough, một van kim và KF-16 nhanh chóng bộ kẹp
Bơm hút chân không	208 - 240V / 50-60 Hz (. 750W Max) 220 lít / M hoặc 7.8 CFM Oil Mist Eliminator được bao gồm Max. chân không: 3 X 10E-3 torr
Kích thước sản phẩm	Kích thước tổng thể: 1500mm x 600mm x 1200mm (tất cả các hệ thống, L x W x H) Trọng lượng tịnh: 350 £ Vận chuyển Trọng lượng: £ 480
Giám sát Oxygen (bắt buộc)	Một cảm biến oxy có thể được sử dụng để giám sát mức độ oxy của khí (es) được sử dụng trong các hệ thống tim mạch để ngăn ngừa hoặc làm giảm quá trình oxy hóa. Xin bấm vào hình dưới đây để tìm hiểu thêm:
Optionals	Vui lòng chọn bên dưới hệ thống phân phối khí dựa trên ngân sách của bạn (nhấp chuột gạch dưới hoặc hình ảnh để đặt hàng) Chi phí thấp nhỏ gọn, chống ăn mòn Ba Kênh Gas Mixer Lỏng Hệ thống bay hơi nhỏ gọn Ba kênh MFC Gas Hệ thống điều khiển Mô-đun kiểm soát nhiệt độ không đổi Các gói OTF-1200X-50-PE-SG cho biết thêm khí trộn & khả năng giao hàng vào hệ thống lò bằng cách tích hợp bốn kênh Gas Trộn Trạm với PLC Touch Panel điều khiển và Precision Lễ Flow Meters. Vui lòng chọn mô hình này từ Tùy chọn sản phẩm trên.
Sự bảo đảm	Một năm bảo hành giới hạn với sự hỗ trợ thời gian thang máy (bộ phận tiêu hao như ống chế biến, o-ring và yếu tố làm nóng không được bảo hành, vui lòng đặt hàng các sản phẩm thay thế tại liên quan dưới đây.)
Tuân	CE chứng nhận Tất cả các thành phần điện (> 24V) của lò là UL / MET / CSA chứng nhận, không bao gồm các hệ thống gas, hệ thống chân không và máy phát điện plasma trộn Các lò đã sẵn sàng để vượt qua TUV (UL61010) hoặc chứng nhận CSA trả thêm phụ phí. (Vui lòng bấm vào dấu dưới đây để tìm hiểu thông tin chi tiết)
Hướng dẫn hoạt động
Cảnh báo	Các lò ống với ống thạch anh được thiết kế để sử dụng trong chân không và áp suất thấp <0.12 MPa (áp suất tuyệt đối) Chú ý: Do sản lượng khí có áp suất cao từ các xi lanh khí, nó là cần thiết để cài đặt bộ điều chỉnh áp suất khí với nó để giảm áp lực đầu ra, tránh quá áp suất cao vào buồng furance và đảm bảo hoạt động an toàn. Click vào đây để tìm hiểu các cài đặt của một tiết khí. MTI bảo lưu quyền thay đổi thiết kế PECVD bất cứ lúc nào mà không cần thông báo, nhưng hứa hẹn chất lượng đáp ứng được các thông số kỹ thuật trên

Để lại lời nhắn

Họ tên
Email
Nội dung

Sản phẩm liên quan

400 ° C Hệ thống PECVD nhỏ gọn với 3 "Quartz Phòng - GSL-1100X-PECVD

Call