1200ºC Max. PECVD Chia ống lò (2 ' - 3.14 ' OD) w / 4 kênh Gas giao hàng & Bơm hút chân không - OTF-1200X-4CLV-PE-UL

Giá : Liên Hệ

Nội dung chi tiết:
OTF-1200X-4CLV-PE là một CE chứng nhận compact PE-CVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) hệ thống lò nung ống, trong đó bao gồm nguồn 500W RF plasma, 2 "hoặc 3,14" OD tùy chọn lò ống tách, 4 kênh lưu lượng chính xác . mét với bình xăng trộn và máy bơm cơ khí chất lượng cao Lò PE-CVD là một công cụ lý tưởng và giá cả phải chăng để gửi tiền màng mỏng hoặc mọc nano-wire từ một trạng thái khí (hơi) sang trạng thái rắn, và lợi ích:
  • Xử lý nhiệt độ thấp hơn so với tim mạch thông thường.
  • Căng thẳng bộ phim có thể được kiểm soát bằng các kỹ thuật pha trộn cao / tần số thấp.
  • Kiểm soát lượng pháp thông qua điều kiện quá trình.
  •  Cung cấp một loạt các lắng đọng vật liệu, bao gồm cả SiOx, sinx, SiOxNy và silicon vô định hình (a-Si: H) lắng đọng.

Thông số kỹ thuật: 

Lò ống chia

 
  •  1200 o C Max. Nhiệt độ làm việc cho <60 phút
  • 1100 o C Max để sưởi ấm liên tục
  • 30 phân đoạn chính xác có thể lập trình điều khiển nhiệt độ kỹ thuật số
  • Khu sưởi ấm đơn chiều dài 440 mm và chiều dài 150 mm ôn đới liên tục
  •  Độ tinh khiết cao ống thạch anh tùy chọn từ (chuột lên thanh tùy chọn để lựa chọn)
    • 2 "OD x 1.7" x 48 ID "Length
    • 3.14 "x 2.83 OD" ID x 48 '' Chiều dài
  •  Một cặp chân không kín mặt bích với van
  •  Đầu vào điện: 208 - 240V AC đầu vào, giai đoạn duy nhất tại max. 4KW
  • Hai khu vực chia lò -OTF1200X-II là tùy chọn thêm phụ phí
Plasma RF Power S upply 
 
 
  • Công suất đầu ra: 5 -500W điều chỉnh quá ± 1% ổn định
  • Tần số RF: 13,56 MHz ± 0,005% ổn định
  • Reflection Power: 200W max.
  • Matching: Tự động
  • RF Output Port: 50 Ω, N-type, nữ
  • Tiếng ồn: <50 dB.
  • Làm lạnh: làm mát không khí.
  • Power: 208-240VAC, 50 / 60Hz
  • Lưu ý: cung cấp năng lượng RF này có thể chấp nhận 50-80 mm Max. ống thạch anh bằng cách thay đổi mặt bích
Chống ăn mòn đo áp suất 
  • 3.8x10 -5 đến 1125 Torr phạm vi đo lường
  • Chống ăn mòn, khí loại độc lập
  • Độ chính xác cao và độ tái lập tại bầu không khí để phát hiện áp suất khí quyển đáng tin cậy
  • Phát hiện khí nhanh chóng loại bỏ thời gian chờ đợi và rút ngắn chu trình
  • Dễ dàng để trao đổi plug & play yếu tố cảm biến
  • Nhấn vào pic để xem thông số detal.
         
Bơm hút chân không và van
  
 Tùy chọn: Để kiểm soát chính xác của áp lực chân không, chúng tôi khuyên bạn chọn chìa khoá giải pháp của chúng tôi EQ-VPC-MV . Đây là một áp lực chân không hệ thống điều với van có động cơ và đồng hồ đo. Nó kiểm soát Dải áp suất từ 10 ^ -6 torr ~ 760 torr. 
Bơm Oiless tùy chọn  Xin vui lòng đặt bơm oiless cho không ô nhiễm: 
Khối lượng dòng chảy mét 
 
  • Bốn chính xác đo lưu lượng khối lượng (0.02% độ chính xác) với màn hình hiển thị kỹ thuật số được cài đặt trên các trường hợp dưới cùng để kiểm soát tốc độ dòng khí tự động.
  • MFC 1: dải lưu lượng khí từ 0 ~ 100 SCCM
  • MFC 2 & 3: Phạm vi điều khiển từ 0 ~ 200 SCCM  
  • MFC 4: Phạm vi điều khiển từ 0 ~ 500 SCCM
  • Một khí bể trộn được cài đặt vào trường hợp dưới cùng với van phát hành lỏng
  • 4 không gỉ van kim thép được cài đặt trên phía bên trái của trường hợp phía dưới để kiểm soát 4 loại khí trộn bằng tay
  • Gas đầu vào phù hợp: bốn 1 / 4NPS
  • Outlet Gas lắp: bốn 1 / 4NPS
Không bắt buộc
 
Kích thước tổng thể
  •  Furnace: 550mm (L) x 380mm (W) x 520mm (H)
  • 2 đáy Di động trường hợp với nhau: 1200mm (L) x 1200mm (W) x 1200mm (H)
  • Trọng lượng tịnh: 220 £
  • Vận chuyển Trọng lượng: £ 350
Sự bảo đảm
 Một năm bảo hành giới hạn với sự hỗ trợ thời gian thang máy (bộ phận tiêu hao như ống chế biến, o-ring và yếu tố làm nóng không được bảo hành, vui lòng đặt hàng các sản phẩm thay thế tại liên quan dưới đây.)


Tuân
  • CE chứng nhận
  • Tất cả các thành phần điện (> 24V) là UL / MET / CSA ​​chứng nhận, không bao gồm các hệ thống gas, hệ thống chân không và máy phát điện plasma trộn
  • Các lò đã sẵn sàng để   p ass TUV (UL61010) hoặc chứng nhận CSA trả thêm phụ phí. (vui lòng bấm vào dấu dưới đây để tìm hiểu thông tin chi tiết)
               
Operation Instruction
   
Cảnh báo 
  • Các lò ống với ống thạch anh được thiết kế để sử dụng trong chân không và áp suất thấp <0,2 bar / 3 psi / 0.02 MPa
  • Chú ý:. Do sản lượng khí có áp suất cao từ các xi lanh khí, nó là cần thiết để cài đặt bộ điều chỉnh áp suất khí với nó để giảm áp lực đầu ra, tránh overpressurizing buồng furance và đảm bảo hoạt động an toàn Click vào đây để tìm hiểu các cài đặt của một điều tiết khí.
  • Chân không giới hạn định nghĩa cho tất cả lò ống thạch anh: * áp lực chân không có thể chỉ được sử dụng một cách an toàn lên đến 1000 ° C
  • Tốc độ dòng chảy khí nên được giới hạn <200 SCCM (hoặc 200ml / phút) để giảm sự thay đổi nhiệt cho ống
  • MTI bảo lưu quyền thay đổi thiết kế PECVD bất cứ lúc nào mà không cần thông báo, nhưng hứa hẹn chất lượng đáp ứng được các thông số kỹ thuật trên
Vận chuyển Kích thước
  • Pallet # 1: 48 "x 40" x 60 "
  • Pallet # 2: 48 "x 40" x 40 "
  • Pallet # 3: 48 "x 40" x 40 "
  • Pallet # 4: 48 "x 40" x 40 "
Tổng Trọng lượng 500 kg (1100 lbs)
 
Để lại lời nhắn
Họ tên
Email
Nội dung
 

Sản phẩm liên quan

Quảng cáo

Video

Thống kê

Số người đang online: 9
Số truy cập hôm nay: 1188
Tổng số người truy cập: 3151508

Tìm kiếm

Sản phẩm bán chạy

Box hình ảnh

Tin tức mới

  •  01 NAM NHÂN VIÊN KỸ THUẬT - VỀ THIẾT BỊ PTN LAB

    01 Nam kỹ thuật về Thiết bị Phòng thí nghiệm. Yêu cầu: Trình độ Đại học (Tốt nghiệp chuyên ngành Kỹ thuật: KHOA HỌC CÔNG NGHỆ VẬT LIỆU, Hóa học, Sinh học, Dược học, Vật Liệu, Nông lâm, Cơ Khí, Y Dược, Môi Trường, Vật Lý, Điện, Xây dựng...). ð Lương thỏa thuận, tùy theo năng lực: từ 5-7 triệu (Thử việc 1 tháng = 70% lương chính). Ngày đăng: 07/06/2019 có hiệu lực đến 31/12/2019

  •  Aero-X Hoverbike: Chiếc xe trượt không khí đầu tiên trên thế giới

    "Xe bay" Aero-X do công ty Aerofex thiết kế sẽ được hoàn thiện và bán ra thị trường vào năm 2017, được nhiều người kỳ vọng rằng đây sẽ là phương tiện giao thông của tương lai.

  •  Phân loại dầu,chức năng của dầu trong máy nén khí

    Mỗi hãng có một công loại dầu và đặc tính khác nhau hoặc gần giống nhau. Có nhiều cách để phân loại phân loại theo chỉ số nhớt hay các tiêu chuẩn, phụ gia...Về căn bản dầu công nghiệp được phân làm hai loại tùy vào gốc chiết suất ra nó. Dầu có gốc tổng hợp Dầu có gốc khoáng

  •  Cơ sở lý thuyết về khí nén

    Ứng dụng khí nén có từ thời trước Công nguyên, tuy nhiên sự phát triển của khoa học kỹ thuật thời đó không đồng bộ, nhất là kiến thức về cơ học, vật lý, vật liệu … còn thiếu, cho nên phạm vi ứng dụng của khí nén còn rất hạn chế.

  •  Học bổng trường đại học kỹ thuật Swinburne

    Đại học Kỹ thuật Swinburne được xếp vào Top 400 trường Đại học hàng đầu thế giới và Top 3 các Đại học tại Melbourne theo Bảng Xếp hạng học thuật các trường Đại học trên thế giới 2012 (Academic Rankings of World Universities).

Bản đồ

Tải về

Liên kết

Nhận email

Dịch

Hỗ trợ trực tuyến

  • Nam ý
    098 918 2955
  • Tư vấn
    090 265 9944
    • Hotline: 0902659944-0989182955

THIẾT BỊ R&D CHO PIN

TINH THỂ & VẬT LIỆU

CHUẨN BỊ MẪU

XỬ LÝ NHIỆT

THIẾT BỊ PHÂN TÍCH VẬT LIỆU

THIẾT BỊ KHÁC PHÒNG THÍ NGHIỆM

XỬ LÝ MẪU

Like facebook