400 ° C Hệ thống PECVD nhỏ gọn với 3 "Quartz Phòng - GSL-1100X-PECVD

Giá : Liên Hệ

Nội dung chi tiết:

Đây là một lò PECVD thu nhỏ với 3 "đường kính x 16" buồng L thạch anh, cuộn sưởi ấm bên trong, hai kênh trộn khí & phân phối hệ thống, và một máy bơm chân không.Toàn bộ hệ thống được đặt trên một chiếc xe di động cho hoạt động dễ dàng. Các khu sưởi ấm mẫu lò plasma có thể được đun nóng đến 400 ° C thông qua một bộ điều khiển nhiệt độ lập trình cho các nghiên cứu của depositions bộ phim khác nhau.

 
Thông số kỹ thuật:
Generator Plasma 
  • Plasma Generator Power: 115V hoặc 230VAC, 50/60 Hz, <100W
  • Tần số ra: 13,56 MHz
  • Ba mức công suất RF: 7.2W. 10.5W và 18W lựa chọn
  • Kích thước buồng: ống thạch anh, 3 "OD x 2.7" x 16 ID "Length
  • Mặt bích thép không gỉ trên hai đầu của ống thạch anh, mà cho phép hút chân không lên đến 10 ^ -2 torr bằng bơm cơ khí
  • Mẫu sẽ được đặt bên trong ống thạch anh và mặt sau của máy phát điện plasma. Xem bản vẽ dưới đây để xem xét cơ cấu 
      
Khe trượt nối bích 
  • Các mặt bích trượt được cài đặt trên các bảng điện thoại di động để dễ dàng tải và xếp dỡ mẫu.
  • Các mẫu có thể được đặt bên trong các cuộn dây nóng để có được quá trình làm nóng hiệu quả và tính đồng nhất lý tưởng. Xin bấm vào pic để biết chi tiết.
Nóng Coil & điều khiển nhiệt độ
  • Một 50mm cuộn OD x 40mm x 70mm ID nóng nằm ở phía trượt, mà có thể làm nóng mẫu lên đến 400 ° C
  • Một ống thạch anh của 2 "ID x 75mm L được bao phủ nóng cuộn dây để giảm tổn thất nhiệt
  • Một tinh khiết cao alumina thuyền (50L x 20W x 20H mm) được bao gồm, và mẫu có thể beplaced bên trong thuyền nhôm
  • 30 phân đoạn lập trình điều khiển nhiệt độ kỹ thuật số nằm ở phía dưới của máy phát điện plasma với độ chính xác +/- 1ºC 
    Nóng điện yêu cầu:
  • Nguồn điện: AC 220V, 500W Max
Coil nóng Ống bảo vệ Quartz Temp. Bộ điều khiển Alumina thuyền
Hai kênh Gas Lưu lượng điều khiển
 Hai Floating Flow-mét với dải tốc độ dòng chảy 10-100 mL / min 
Ba Cơ đo áp suất (thùng trộn): -0.1-0.15 MPa, (0.01 MPa / grit) 
Van chân không kim làm bằng SS304 
Ba phụ kiện ống cho 1/4 "ống (nylon hoặc thép không gỉ) 
Kích thước nhỏ gọn: 340Lx300Dx 180H, mm (13.4 "x12" x7 "). 
Net: Trọng lượng: 14 lbs. 
Không cần điện
Máy hút bụi và khí phụ kiện 
  • Các phụ kiện chân không tiêu chuẩn bao gồm:
  • Một cặp 3 "với mặt bích nối KF-25 máy bơm, một 1/4 "đầu nối ống Swagelok và hai van kim
  • Hai KF-25 ống thổi chân không (1meter Length) và ba KF-25 kẹp nhanh
  • Một đo chân không kỹ thuật số
  • Chú Ý: 
    1. Nhiều loại khí trơ có thể được lựa chọn cho plasma, chẳng hạn như N2, Ar, không khí và khí hỗn hợp phụ thuộc vào loại vật liệu sẽ được xử lý. (Không bao gồm trong gói) 
    2. Không khí dễ cháy được sử dụng cho các máy phát điện plasma 
    3. Bạn sẽ điều chỉnh áp suất buồng khí tốc độ chảy để đảm bảo plasma phát sáng để đạt được vị trí mẫu ở phía sau của ống
Bơm hút chân không 
 Một Bước đôi Rotary Vane Bơm hút chân không (110V, 226 L / m) với gió Lọc & KF-D25 Inlet - với KFD25 adapter và 600mm chiều dài đường ống thép không gỉ và bộ lọc chất lượng cao mới có 
Tổng Áp lực cao nhất của 30 mTorr hoặc ít hơn
Nhiệm vụ nặng Mobile giỏ hàng
Một 600L x 600W x 600H, mm hai kệ nhiệm vụ di động nặng giỏ được bao gồm.
Hệ thống tim mạch được đặt trên đầu trang của các giỏ hàng
Kích thước
 Plasma Generator: 8.5 "H x 10" W x 8 "D 
Nhiệt độ điều khiển: 4 "H x 10" W x 8 "D 
Bảng di động và mặt bích: 600 x 600 x 1000mm 
Gói vận chuyển: 16 "x 16" x 28 "
Trọng lượng
 £ 70 (bao gồm bơm chân không)
Sự bảo đảm
 Một năm hạn chế (không có bảo hành cho các ống thạch anh)
Giấy chứng nhận
 CE chứng nhận
Cảnh báo
 Các lò ống với ống thạch anh được thiết kế để sử dụng trong chân không và áp suất thấp <0.12 MPa (áp suất tuyệt đối)

 
Để lại lời nhắn
Họ tên
Email
Nội dung
 

Sản phẩm liên quan

Quảng cáo

Video

Thống kê

Số người đang online: 4
Số truy cập hôm nay: 44
Tổng số người truy cập: 3142875

Tìm kiếm

Sản phẩm bán chạy

Box hình ảnh

Tin tức mới

  •  01 NAM NHÂN VIÊN KỸ THUẬT - VỀ THIẾT BỊ PTN LAB

    01 Nam kỹ thuật về Thiết bị Phòng thí nghiệm. Yêu cầu: Trình độ Đại học (Tốt nghiệp chuyên ngành Kỹ thuật: KHOA HỌC CÔNG NGHỆ VẬT LIỆU, Hóa học, Sinh học, Dược học, Vật Liệu, Nông lâm, Cơ Khí, Y Dược, Môi Trường, Vật Lý, Điện, Xây dựng...). ð Lương thỏa thuận, tùy theo năng lực: từ 5-7 triệu (Thử việc 1 tháng = 70% lương chính). Ngày đăng: 07/06/2019 có hiệu lực đến 31/12/2019

  •  Aero-X Hoverbike: Chiếc xe trượt không khí đầu tiên trên thế giới

    "Xe bay" Aero-X do công ty Aerofex thiết kế sẽ được hoàn thiện và bán ra thị trường vào năm 2017, được nhiều người kỳ vọng rằng đây sẽ là phương tiện giao thông của tương lai.

  •  Phân loại dầu,chức năng của dầu trong máy nén khí

    Mỗi hãng có một công loại dầu và đặc tính khác nhau hoặc gần giống nhau. Có nhiều cách để phân loại phân loại theo chỉ số nhớt hay các tiêu chuẩn, phụ gia...Về căn bản dầu công nghiệp được phân làm hai loại tùy vào gốc chiết suất ra nó. Dầu có gốc tổng hợp Dầu có gốc khoáng

  •  Cơ sở lý thuyết về khí nén

    Ứng dụng khí nén có từ thời trước Công nguyên, tuy nhiên sự phát triển của khoa học kỹ thuật thời đó không đồng bộ, nhất là kiến thức về cơ học, vật lý, vật liệu … còn thiếu, cho nên phạm vi ứng dụng của khí nén còn rất hạn chế.

  •  Học bổng trường đại học kỹ thuật Swinburne

    Đại học Kỹ thuật Swinburne được xếp vào Top 400 trường Đại học hàng đầu thế giới và Top 3 các Đại học tại Melbourne theo Bảng Xếp hạng học thuật các trường Đại học trên thế giới 2012 (Academic Rankings of World Universities).

Bản đồ

Tải về

Liên kết

Nhận email

Dịch

Hỗ trợ trực tuyến

  • Nam ý
    098 918 2955
  • Tư vấn
    090 265 9944
    • Hotline: 0902659944-0989182955

THIẾT BỊ R&D CHO PIN

TINH THỂ & VẬT LIỆU

CHUẨN BỊ MẪU

XỬ LÝ NHIỆT

THIẾT BỊ PHÂN TÍCH VẬT LIỆU

THIẾT BỊ KHÁC PHÒNG THÍ NGHIỆM

XỬ LÝ MẪU

Like facebook