Các OTF-1200X-VHP4 được thiết kế để làm vật liệu hợp chất dày đặc dưới cả chân không và áp suất cao, và / hoặc bounding nhiều lớp wafer với nhau dưới một áp suất lên đến 5 tấn. Nó được tích hợp với phân chia lò ống thẳng đứng với một vacuum- niêm phong 4 "ống thạch anh và 20T ép thủy lực điện, cũng như một bộ 0.5" ID graphite ép chết. Các lò có thể được đun nóng lên đến 1100ºC sử dụng một bộ điều khiển nhiệt độ với 30 phân đoạn lập trình. Nước làm mát bằng mặt bích tạo điều kiện chân không cấp lên đến 10E ^ -5 torr qua sử dụng một máy bơm turbomolecular. Thông số kỹ thuật:
|
Họ tên | |
Nội dung | |