OTF-1200X-II-80HG-UL là một hai vùng nhiệt hydro ống khí đốt lò với điều khiển hai kênh lưu lượng khí, thiết bị bay hơi lỏng, màn hình độ ẩm, cũng như phát hiện hydro gas rò rỉ. Như hệ thống như vậy được thiết kế để xử lý CVD với khí hydro trong điều kiện độ ẩm được kiểm soát. Một trong những dòng khí hai CVD thông qua các thiết bị bay hơi chất lỏng giúp với việc phân phối hơi lỏng. Chính xác màn hình kỹ thuật số có thể đo độ ẩm hàm lượng nước với độ chính xác +/- 1.5% FS. Màn hình bao gồm hydrogen 3M sẽ tắt van khí hydro đầu vào ngay lập tức khi phát hiện rò rỉ khí hydro.