1 "magnetron phún xạ Source với kết nối nhanh - HVMSS-TANDTC-1

Nội dung chi tiết:

Các HVMSS-TANDTC-1 là một khẩu súng magnetron sputtering với đầu thẳng, đó là có khả năng chứa một loạt các 1 "dia. Nguồn phún. Khả năng tương thích của nó với DC, xung DC và RF nguồn cung cấp điện đảm bảo tính linh hoạt tối đa và mở rộng cách sử để mục tiêu khác nhau phún xạ (ví dụ như kim loại, cách điện, từ tính hoặc không từ tính, và vv). cố kết nối nhanh được bao gồm để làm cho việc lắp đặt các thiết bị này là thẳng về phía trước và nó cũng cung cấp thay đổi mục tiêu đơn giản mà không đòi hỏi bất kỳ liên kết mục tiêu.

Thông số kỹ thuật

Tính năng 


 
  •  Cường độ điện trường cao và hồ sơ trường đều đạt được thông qua việc sử dụng các tính toán phần tử hữu hạn điện từ trong các thiết kế của các hội đồng nam châm vĩnh cửu
  • Thấp trở kháng đầu phún xạ và kết nối RF tiêu chuẩn dễ dàng kết hợp và giao diện với một loạt các DC và RF nguồn điện phún xạ..
  • Dễ dàng cài đặt với các công cụ phổ biến.
  • Nam châm được phân lập từ nước làm mát với lớp phủ bảo vệ chống ăn mòn tối đa hóa độ bền.
  • 1 "Copper Backing Plate ( EQ-CBP-1 ) được bao gồm.
  • Nguồn phún xạ là bakeable lên đến 200 ° C
  • Chuẩn ¾ "OD Shaft
  • Chấp nhận 1/8 "(3 mm) mục tiêu dày; 1 pc của mục tiêu đồng được bao gồm như là phụ kiện tiêu chuẩn
Phún xạ Gun 
 
 
  • Thổi Head Đường kính: 1,82 "(46.3mm)
  • Target Đường kính: 1.0 ± 0.02 "(25.4mm)
  • Độ dày tối đa mục tiêu: 1/8 "(3mm)
  • Nam châm: NdFeB Rare Earth Magnet
  • Trục Đường kính: 3/4 "OD

Kết nối điện 

  • Chuẩn HN Nữ nối được bao gồm (DC và RF, Picture dưới, bên trái)
  • Tùy chọn cáp SL16 Connector (hình bên dưới bên phải 2)
  • 148 cm cáp RF được khuyến cáo với thêm chi phí (nhấp Pic. Đúng 1 để đặt hàng)
   
Nguồn điện
  • DC (Max.) 250 W
  • RF (Max.) 100 W
Cathode phún xạ hiện tại 3 Amp (Max.)
Cathode thế phún xạ 200 - 1.000 V
Phạm vi áp điều hành ~ 1 mTorr đến 1 Torr
Phún Độ dày đồng nhất đường cong 
 

LƯU Ý: Độ dày màng bình thường hóa đồ thị trên được thu thập từ lắng một ~ 200 nm màng dày với một PVD HV magnetron sputtering súng sử dụng một mục tiêu Cu 1-inch. Các phép đo được thực hiện bằng cách sử dụng một đầu dò 4 điểm trong hai hướng vuông góc nhau (X, Y) trên bề mặt wafer. Bộ phim đã được gửi lên một oxy hóa không quay Si wafer theo các điều kiện sau đây: 
  1. 150 Watts DC trong 10 mTorr (Ar)
  2. Khoảng cách 3-inch (75 mm) từ bia đế
Nước làm mát (Bắt buộc) 
 
  • Lưu lượng yêu cầu: 1/2 GPM, lọc
  • Nước Inlet Nhiệt độ: <20 C
  • Móc nước lên: 0,25 "ngắt kết nối nhanh OD
Điện & phụ kiện lắp đặt 
 
  • Đầu nối điện: loại HN Standard (DC và RF)
  •  
  • High Vacuum nối nhanh được bao gồm để sử dụng ngay lập tức, có thể cài đặt các nguồn phún xạ lên tấm đế (lên đến 1 "dày) của một buồng chân không với 1" đường kính thông qua các lỗ EASI ly.
  •    
Chiều dài tổng thể 14 inches
Khối Lượng Tịnh £ 3



Phụ kiện tùy chọn
  • Digital Tempeature kiểm soát tuần hoàn nước Chiller với 6 Lít Tank, 16L / phút Flow là có sẵn tại thêm chi phí, xin vui lòng đặt hàng riêng biệt, bấm vào pic dưới bên trái để đặt hàng.
  • MTI cung cấp DC và RF nguồn điện cũng như buồng chân không cho hệ thống phương pháp phún xạ DIY (nhấp Pic dưới đây để đặt hàng)
  •    
Hướng dẫn hoạt động
 
Sự bảo đảm Một năm hạn chế với sự hỗ trợ trọn đời
Thông tin về phương pháp phún xạ Coating
DC phún xạ 
Còn được gọi là Direct Current Diode phún xạ và nó là loại cơ bản nhất của phương pháp phún xạ. Ion hóa Argon cation được gia tốc về phía cathode với việc sử dụng một điện áp thiên vị tiêu cực. Sau khi sự va chạm của Argon cation với cực âm (nơi tài liệu mục tiêu được đặt), loài từ nguồn mục tiêu được đẩy ra và sau đó được lắng đọng trên bề mặt. 

Phún xạ RF 
Đó là lý tưởng để sử dụng với cách điện hoặc các tài liệu mục tiêu điện môi hoặc chất nền như gốm. Nó cho phép một áp Argon thấp hơn nhiều so với người đồng cấp DC (1-15 mTorr vs 100 mTorr) để được sử dụng, do đó làm giảm nồng độ tạp chất khí và trong buồng trong khi cũng cải thiện dòng của sự lắng đọng của thị giác do va chạm khí ít hơn . 

Magnetron sputtering 
Tính năng phún xạ này làm tăng đáng kể tốc độ phún xạ bằng cách tập trung các ion và electron trong một khu vực hạn chế trên các cathode.By bẫy electron gần các vật liệu mục tiêu bằng cách sử dụng một từ trường, các ion hóa của Argon được tăng lên rất nhiều khi cũng tiếp tục giảm áp suất khí đến 0,5 mTorr để cải thiện dòng của sự lắng đọng của thị giác nhiều hơn. 

Các đặc điểm trên đề nghị cải thiện tốc độ lắng đọng, giảm tạp chất của lớp phủ, và cho phép hoạt động theo nhiệt độ susbstrate thấp hơn trong lời khai. Đây là loại phương pháp phún xạ có thể được sử dụng kết hợp với một nguồn điện DC hoặc RF. 

Lời khuyên hữu ích nhằm cải thiện kết quả phún xạ 
  • Giữ buồng mẫu của máy bào phún sạch ở tất cả các lần
  • Isopropyl alcohol được ưa thích để làm sạch bề mặt kim loại (bao gồm cả mục tiêu) như acetone mất lâu hơn để outgas và có thể làm giảm hiệu suất chân không
  • Luôn luôn cô lập các máy bơm chân không thô từ buồng mẫu vật để ngăn chặn sự chảy ngược của bơm dầu (hydrocarbon) vào buồng.Phòng này của ô nhiễm buồng thường đạt được bằng cách tắt các van nối các đơn vị máy bào và bơm chân không
  • Chủ sở hữu chất nền Rotary có thể được sử dụng để cải thiện sự phân bổ đều coatins trên các mẫu với các bề mặt không đều
  • Coating đồng nhất có thể được cải thiện hơn nữa bằng cách sử dụng khí tinh khiết cao và mục tiêu. Lý tưởng nhất, các chỉ tiêu được sử dụng phải có đường kính lớn hơn so với các chất ít nhất 20%

 

Để lại lời nhắn
Họ tên
Email
Nội dung
 

Thống kê

Số người đang online: 11
Số truy cập hôm nay: 740
Tổng số người truy cập: 1188836

Tìm kiếm

Tin tức mới

  •  01 NAM NHÂN VIÊN KỸ THUẬT - VỀ THIẾT BỊ PTN LAB

    01 Nam kỹ thuật về Thiết bị Phòng thí nghiệm. Yêu cầu: Trình độ Đại học (Tốt nghiệp chuyên ngành Kỹ thuật: KHOA HỌC CÔNG NGHỆ VẬT LIỆU, Hóa học, Sinh học, Dược học, Vật Liệu, Nông lâm, Cơ Khí, Y Dược, Môi Trường, Vật Lý, Điện, Xây dựng...). ð Lương thỏa thuận, tùy theo năng lực: từ 5-7 triệu (Thử việc 1 tháng = 70% lương chính). Ngày đăng: 07/06/2019 có hiệu lực đến 31/12/2019
  •  Aero-X Hoverbike: Chiếc xe trượt không khí đầu tiên trên thế giới

    "Xe bay" Aero-X do công ty Aerofex thiết kế sẽ được hoàn thiện và bán ra thị trường vào năm 2017, được nhiều người kỳ vọng rằng đây sẽ là phương tiện giao thông của tương lai.
  •  Phân loại dầu,chức năng của dầu trong máy nén khí

    Mỗi hãng có một công loại dầu và đặc tính khác nhau hoặc gần giống nhau. Có nhiều cách để phân loại phân loại theo chỉ số nhớt hay các tiêu chuẩn, phụ gia...Về căn bản dầu công nghiệp được phân làm hai loại tùy vào gốc chiết suất ra nó. Dầu có gốc tổng hợp Dầu có gốc khoáng
  •  Cơ sở lý thuyết về khí nén

    Ứng dụng khí nén có từ thời trước Công nguyên, tuy nhiên sự phát triển của khoa học kỹ thuật thời đó không đồng bộ, nhất là kiến thức về cơ học, vật lý, vật liệu … còn thiếu, cho nên phạm vi ứng dụng của khí nén còn rất hạn chế.
  •  Học bổng trường đại học kỹ thuật Swinburne

    Đại học Kỹ thuật Swinburne được xếp vào Top 400 trường Đại học hàng đầu thế giới và Top 3 các Đại học tại Melbourne theo Bảng Xếp hạng học thuật các trường Đại học trên thế giới 2012 (Academic Rankings of World Universities).

Liên kết

Hỗ trợ trực tuyến

  • Nam ý
    098 918 2955
  • Tư vấn
    090 265 9944
  • Hotline: 0917894855