Các HVMSS-TANDTC-2 là một diam 2 ". Magnetron tròn súng phún xạ mà có thể chứa một loạt các mục tiêu phún xạ, chẳng hạn như kim loại / cách điện hoặc từ tính / phi từ tính. Các đất hiếm NdFeB nam châm vĩnh cửu tròn được thực hiện để đảm bảo tuyệt vời bộ phim thống nhất và sử dụng mục tiêu. Như một khẩu súng phún xạ là dễ dàng hoạt động và duy trì. Cài đặt thẳng về phía trước và nó có thể hoạt động với một trong hai DC hoặc cung cấp điện RF.

Thông số kỹ thuật:

Tính năng	Được làm bằng vật liệu chất lượng cao bằng thép không gỉ và gốm sứ. Tính toán phần tử hữu hạn điện từ được sử dụng trong các thiết kế của các hội từ tính lâu dài để đạt được cường độ trường cao và hồ sơ của trường đồng nhất. Các nam châm được bọc bằng vật liệu bảo vệ chống ăn mòn nước làm mát để tối đa hóa độ bền. Nối RF tiêu chuẩn, trong đó phù hợp với một loạt các DC và RF nguồn điện phún xạ. Người đứng đầu phún xạ trở kháng thấp là dễ dàng interfacible với một nguồn cung cấp điện bên ngoài. Dễ dàng cài đặt một tiêu chuẩn phù hợp với bao gồm kết nối nhanh chóng 2 "Copper Backing Plate ( EQ-CBP-2 ) được bao gồm. Thay thế mục tiêu là dễ dàng và không cần phải điều chỉnh để phù hợp với khẩu súng mục tiêu với độ cao khác nhau.
Nguồn điện	DC (Max.) 1000 W RF (Max.) 500 W
Điện Connection Type	Chuẩn HN Nữ nối được bao gồm (DC và RF, Picture dưới, bên trái) Tùy chọn cáp SL16 Connector (hình dưới bên phải) 1 48 cm cáp RF được khuyến cáo với thêm chi phí (nhấp Pic. Đúng 1 để đặt hàng)
Phún xạ hiện tại (Max.)	3 Amp
Điện áp phún xạ	100-1000 V
Phún xạ áp	5-100 mTorr
Phún xạ đồng nhất đường cong
Kích thước	Anode Khiên Đường kính: 3,5 " Tổng chiều dài: 14 "
Phún xạ Target	Đường kính: 2.0 "(50.8mm) Độ dày: lên đến 1/4 "cho mục tiêu không từ tính; lên đến 1/16" cho mục tiêu từ tính Sử dụng: lên đến 30% Magnet: NdFeB Rare Earth Magnet
Yêu cầu làm mát nước	Lưu lượng: 0.8 GPM Nước Inlet Nhiệt độ: <20 C Ống nước: 0,25 "OD
Gắn	Feedthrough: 3/4 "ODtube
Khối Lượng Tịnh	3,5 £
Accessaries	Chân không cao nối nhanh với 0,75 "ID được bao gồm. Sử dụng thành phần này để cài đặt các nguồn phún xạ lên tấm đế (lên đến 1" dày) của một buồng chân không với 1 "đường kính thông qua các lỗ ở dễ dàng (nhấp pic dưới bên trái để xem xem chi tiết) Digital Tempeature kiểm soát tuần hoàn nước Chiller với 6 Lít Tank, 16L / phút Flow là có sẵn tại thêm chi phí, xin vui lòng bấm vào pcture dưới righ để đặt hàng.