Cơ cấu lò 

• Cả hai lò là kết cấu thép hai lớp với 1200 ° C Nhiệt độ làm việc tối đa.
• Mỗi lò có 200mm khu sưởi ấm và 60 mm chiều dài khu temperatue liên tục
• Một cặp ray trượt được cài đặt trên dưới cùng của lò, cho phép lò để được tự di chuyển từ bên này sang bên kia với max trượt khoảng cách 400 mm.
• Mặt bích chân không được cài đặt để sử dụng ngay lập tức.

Sức mạnh của lò

Max. Nhiệt độ

Nhiệt độ liên tục

Sưởi & Làm lạnh giá 

Sưởi Zone Length

200mm (~ 8 ") cho mỗi lò

Khu Nhiệt độ không đổi

60 mm (+/- 1 ° C @ 400-1200 ° C)

Các yếu tố sưởi ấm

Fe-Cr-Al hợp kim pha tạp bởi Mo

Chế biến ống Kích

Độ tinh khiết cao ống thạch anh nấu chảy

Điều khiển nhiệt độ

• Hai lò là PID điều khiển tự động với 30 phân đoạn có thể lập trình để kiểm soát chính xác của tỷ lệ sưởi ấm, làm mát và tỷ lệ thời gian dừng tại.
• Built-in trên báo động và bảo vệ nhiệt độ cho phép hoạt động mà không có tiếp viên.
• T wo loại K cặp nhiệt được bao gồm.
• Tùy chọn:
  • Các lò có thể được vận hành bằng máy tính bằng cách cài đặt module điều khiển . Xin vui lòng đặt một module điều khiển MTS-02 tại thêm chi phí.
  • Nếu bạn đặt hàng các module điều khiển máy tính cùng với lò, chúng tôi sẽ cài đặt và thử nghiệm nó trước khi vận chuyển. Chúng tôi khuyên bạn nên đặt mua một máy tính (máy tính xách tay) từ chúng tôi để tránh các vấn đề cài đặt phần mềm. Để biết thêm thông tin xin vui lòng bấm vào đây . 

Nhiệt độ Độ chính xác

+ / - 1 ° C

Mặt bích chân không

• Đôi đường sắt trượt làm bằng thép mạ Cr
• Trượt dài: 1200 mm

Vacuum Cấp

• Giới hạn bởi bơm (bơm không được bao gồm, nhấp chuột vào hình ảnh để đặt hàng)
  • 10E-5 torr có thể đạt được thông qua bơm phân tử
  • 10E-2 torr có thể đạt được thông qua máy bơm cơ khí.

 

Tùy chọn cho upgrate

• Cơ trượt có sẵn theo yêu cầu (xin vui lòng kích vào ảnh dưới bên trái)
• 1-9 gas chaanel trộn và giao hàng moudles là availle (nhấp vào hình ảnh hình ảnh thứ 2 dưới đây để đặt hàng)
• 100W - máy phát điện plasma 500W RF để xử lý plasma nâng cao có sẵn theo yêu cầu (kích vào ảnh dưới bên phải để xem chi tiết). Module này cho phép bạn xây dựng Plasma Tăng cường hệ thống CVD nhiệt của riêng bạn

Kích thước

Khối Lượng Tịnh

~ 80 Kg 

Vận Chuyển P ackage Kích

70 "x 45" x 45 "(inch) 

Trọng lượng

300 lbs 

Sự bảo đảm

Một năm bảo hành giới hạn của nhà sản xuất (bộ phận tiêu hao như ống chế biến, O-ring và yếu tố làm nóng không được bảo hành, vui lòng đặt hàng thay thế ở các sản phẩm liên quan dưới đây).

Tuân

• CE chứng nhận
• Tất cả các thành phần điện (> 24V) là UL / MET / CSA ​​chứng nhận
• Các lò đã sẵn sàng để vượt qua TUV (UL61010) hoặc chứng nhận CSA trả thêm phụ phí. (Vui lòng bấm vào dấu dưới đây để tìm hiểu thông tin chi tiết)

Ghi chú ứng dụng

• Lò ống với ống thạch anh được thiết kế để sử dụng trong chân không và áp suất thấp <0,2 bar / 3 psi / 0.02 MPa
• Chú ý:. Do sản lượng khí có áp suất cao từ các xi lanh khí, nó là cần thiết để cài đặt bộ điều chỉnh áp suất khí với nó để giảm áp lực đầu ra, tránh overpressurizing buồng furance và đảm bảo hoạt động an toàn
• Tốc độ dòng chảy khí nên được giới hạn <200 SCCM (hoặc 200 ml / phút) để giảm sự thay đổi nhiệt cho ống
• Chân không giới hạn định nghĩa cho tất cả lò ống thạch anh: * áp lực chân không có thể chỉ được sử dụng một cách an toàn lên đến 1000 ° C