1500 ° C Max trượt ống lò (50mm OD) với Bích cho hệ thống sưởi ấm nhanh / Làm lạnh

1500 ° C Max trượt ống lò (50mm OD) với Bích cho hệ thống sưởi ấm nhanh / Làm lạnh - GSL-1500X-OTF-50SL

Giá : Liên Hệ

Nội dung chi tiết:

GSL-1500X-OTF-50SL là một CE chứng nhận slide-thể 1500 ° C ống lò với 50mm OD x 55 "L mullite ống chân không và mặt bích. Một cặp trượt đường sắt đã được cài đặt trên dưới cùng của lò. Các lò có thể được di chuyển thủ công từ bên này sang bên khác để đạt được một max sưởi ấm. hoặc tỷ lệ làm mát lên đến 100 ° C / phút. Đối với sưởi ấm nhanh nhất, các lò có thể được trước nung nóng đến nhiệt độ mong muốn và sau đó được trượt đến vị trí của mẫu vật. Đối với làm mát nhanh nhất, các lò có thể được trượt ở bờ bên kia sau khi làm nóng mẫu được hoàn thành. Hệ thống này cung cấp một giải pháp để xử lý nhiệt nhanh chóng với chi phí thấp nhất.

Phim 3C-SiC trên Si có thể trồng bằng lò, xin vui lòng đọc dưới đây bài viết để xem thủ tục tăng trưởng 3C-SiC trên đế Si qua CVD: Giới thiệu

Thông số kỹ thuật:

Cơ cấu lò

Đôi kết cấu thép lớp với quạt làm mát khí kép
Một cặp ray trượt được cài đặt trên dưới cùng của lò để cho phép di chuyển từ bên này sang bên khác
Mặt bích chân không và một hồ đo chân không kỹ thuật số được cài đặt để sử dụng ngay lập tức (nhấp vào hình ảnh dưới đây phù hợp với thông số kỹ thuật)
50 mm ống OD mullite chống sốc nhiệt tốt hơn
Yếu tố làm nóng SiC

Quyền lực

3.5KW Điện áp AC 208-240V đơn pha, 50/60 Hz Max. Nhiệt độ 1500 ° C (<30minute) Nhiệt độ Continuous 1400 ° C

Sưởi & Làm lạnh giá

Tỷ sưởi:

15 ° C / sec (RT - 150 ° C);

10 ° C / giây (150 ° C - 250 ° C);

7 ° C / giây (250 ° C - 350 ° C);

4 ° C / giây (350 ° C - 500 ° C);

3 ° C / giây (350 ° C - 550 ° C);

2 ° C / giây (550 ° C - 650 ° C);
1 ° C / giây (650 ° C - 800 ° C);
0,5 ° C / giây (800 ° C - 1000 ° C);

Tỷ lệ làm lạnh:

15 ° C / sec (1000-950 ° C);

10 ° C / giây (950 ° C - 900 ° C);

7 ° C / giây (900 ° C - 850 ° C);

4 ° C / giây (850 ° C - 750 ° C);

2 ° C / giây (750 ° C - 600 ° C);
1,5 ° C / giây (600 ° C - 500 ° C);
1 ° C / giây (500 ° C - 400 ° C);
0,5 ° C / giây (400 ° C - 300 ° C);

Lưu ý: Các nhiệt tối đa và tốc độ làm mát là đạt được bằng tiền nóng một bên của ống chế biến để nhiệt độ mục tiêu và sau đó trượt lò để phía bên kia. Bạn có thể chọn để đặt mẫu trong khu vực trước nhiệt hay không.

Sưởi Zone Length

300mm (khu vực duy nhất)

Khu Nhiệt độ không đổi

120mm (+/- 2 ° C) @ 400-1400 ° C

Các yếu tố sưởi ấm

1500C lớp SiC Rod (8 chiếc)

Chế biến ống Kích

Ống mullite xuất tại Mỹ
Kích thước: OD: 2 "x ID: 1.75" x Chiều dài: 55 "(OD: 50,8 x 44,45 x ID Length 1400 mm)
Hai khối gốm xốp được bao gồm trong đó phải được đặt bên trong ống để tránh bức xạ nhiệt làm hư hỏng O-ring.
Lưu ý: mullite ống là consummables và không có bảo hành cung cấp. Sưởi ấm và làm mát nhanh hơn có thể làm giảm tuổi thọ của ống
Xin vui lòng nhấn vào đây để đặt hàng phụ tùng bấm vào đây để lựa chọn chiếc thuyền nhôm

Điều khiển nhiệt độ

Điều khiển PID tự động qua SCR (Silicon Controlled Rectifier) điều khiển công suất với góc pha bắn, điện trở hạn chế hiện hành.
30 phân đoạn có thể lập trình để kiểm soát chính xác của tốc độ làm nóng, tốc độ làm mát và thời gian dừng tại.
Xin vui lòng bấm vào đây để tìm hiểu lý do tại sao SCR là chính xác hơn SSC (chuyển tiếp trạng thái rắn).
Built-in trên báo động và bảo vệ nhiệt độ cho phép hoạt động mà không có tiếp viên.
T wo loại S cặp nhiệt được bao gồm. Một là xây dựng vào lò để điều khiển nhiệt độ lò, và một người khác chèn vào ống để theo dõi mẫu thông số nhiệt độ thực tế.
Một NIST chứng nhận nhiệt độ đo được bao gồm để kết nối với các cặp vợ chồng nhiệt bên trong ống. đồng hồ có RS485 Interface với Windows phần mềm mà có thể ghi thông số nhiệt độ của máy tính. (Xin vui lòng bấm vào hình dưới bên phải để xem thông số kỹ thuật)
Tùy chọn:
- Các lò có thể được vận hành bằng máy tính bằng cách cài đặt một module điều khiển . Xin vui lòng đặt một module điều khiển MTS-02 tại thêm chi phí.
- Nếu bạn đặt hàng các module điều khiển máy tính cùng với lò, chúng tôi sẽ cài đặt và thử nghiệm nó trước khi vận chuyển. Chúng tôi khuyên bạn nên đặt mua một máy tính (máy tính xách tay) từ chúng tôi để tránh các vấn đề cài đặt phần mềm. Để biết thêm thông tin xin vui lòng bấm vào đây .

Temperatur Độ chính xác

+ / - 1 ° C

Mặt bích chân không

Không rỉ mặt bích thép chân không với xây dựng trong làm mát áo khoác được cài đặt trên cả hai đầu của ống với hỗ trợ nhiệm vụ nặng nề.

Hai cặp của các khối ống gốm fiberous được bao gồm cho chặn bức xạ nhiệt từ bên trong ống. (Khối gốm phải được đưa đầy đủ vào buồng lò sưởi trước)

Nước mát Feature

Nước làm mát trên mặt bích là chủ yếu để làm mát xuống o-ring bên trong mặt bích để đảm bảo niêm phong tốt nhất ở nhiệt độ cao:

Mặt bích làm mát nước yêu cầu> = 10L / lưu lượng nước M.
Bạn có thể sử dụng nước máy là chất làm mát, nhưng chúng tôi đề nghị bạn sử dụng một máy làm lạnh nước tuần hoàn cho vấn đề môi trường. Xin vui lòng bấm ngón tay cái bên trái để ra lệnh cho máy làm lạnh nước tại thêm chi phí.

Vacuum Cấp

Giới hạn bởi bơm. (10-5 torr có thể đạt được bằng cách bơm phân tử) bơm hút chân không được bao gồm.

10 ^ -2 torr có thể đạt được bằng cách bơm cơ khí
10 ^ -5 torr có thể đạt được bằng cách bơm phân tử

Sliding Rails / Bảng

Đôi đường sắt trượt làm bằng thép mạ Cr
Trượt dài: 1200 mm

Kích thước

550 x 380 x 520 mm (lò sưởi chỉ)
1500 x 380 x 620 mm (lò + slidin g)

Khối Lượng Tịnh

~ 100 Kg

Vận chuyển trọn gói Kích

45 "x 45" x 35 "(inch)

Trọng lượng

£ 300

Sự bảo đảm

Một năm bảo hành giới hạn của nhà sản xuất (bộ phận tiêu hao như ống chế biến, O-ring và yếu tố làm nóng không được bảo hành, vui lòng đặt hàng thay thế ở các sản phẩm liên quan dưới đây).

Tuân

CE chứng nhận
UL / MET Certification / CSA có sẵn theo yêu cầu, phí sẽ được tính thêm
Bộ điều khiển nhiệt độ được MET và CE chứng nhận
Transformer là UL Certified

Ghi chú ứng dụng

Các lò ống với ống mullite được thiết kế để sử dụng trong chân không và áp suất thấp <0.02 MPa / 0,2 Bar / 3 PSI
Chú ý: Một điều áp phải được cài đặt trên bình xăng đầu vào của bạn (kích vào ảnh dưới đây để xem lại) và có áp lực khí đầu ra đặt dưới 3 PSI ở tất cả các lần sau khi mở thùng xăng với khí được duy trì trong tình trạng chảy liên tục. Gas xây dựng với mức áp suất vượt qua 3 PSI có thể gây ra thiệt hại không thể đảo ngược vào buồng lò.
Không bao giờ làm nóng lò trong khi van gas phát hành là khép kín và một điều kiện áp lực dương tồn tại trong buồng lò. Các máy đo áp suất phải được sử dụng để giám sát chặt chẽ các điều kiện phòng ở tất cả các lần trong suốt quá trình làm nóng;bạn hãy mở van gas phát hành ngay lập tức một khi áp lực buồng đã đạt trên 3 PSI để ngăn chặn thiệt hại unforseeable.

Để lại lời nhắn

Họ tên
Email
Nội dung

Sản phẩm liên quan

Nhỏ gọn Auto-trượt ống lò (50mm OD, 1200 ° C max.) Với mặt bích cho nhanh sưởi / làm mát - OTF-1200X-50-SL-UL

Call

Nhỏ gọn 4 "CVD lò với nhiệt nóng cho Max 3". Wafer - OTF-1200X-4-NW

Call

Tiêu chuẩn UL gọn RTP Furnace với 4 "Quartz Tube & Digital hút chân không Máy đo lên đến 1100ºC - OTF-1200X-4-RTP-UL

Call

1000 ° C Max Slideable RTP (4 ' OD) Săm lò với Nhanh chóng sưởi ấm và làm mát - OTF-1200X-4-RTP-SL

Call

1200 ° C Max trượt ống lò (80mm OD) với Bích cho hệ thống sưởi ấm nhanh / Làm lạnh - OTF-1200X-80SL-UL

Call

1200 ° C Max kép trượt ống lò với mặt bích ống 50 mm cho TCVD - OTF-1200X-S2-50SL

Call

Hai ống (100/80 mm) - CVD trượt Furnace và 4 kênh Gas & Hệ thống hút chân không - OTF-1200X-4-C4-SL-UL

Call