• 220V AC 50 / 60Hz, một pha
• 800W (bao gồm máy bơm)
• Nếu điện áp 110V, một biến áp 1000W sẽ được yêu cầu. Clcik bức tranh bên trái để đặt hàng

• Một 13,5 MHz, 300W automatch RF phát điện được bao gồm và kết nối với đầu phún xạ.  

Magnetron sputtering Head 

 

• Ba 1 "linh hoạt magnetron sputtering Heads với áo nước làm mát được bao gồm và đưa vào buồng thạch anh qua kẹp nhanh (nhấn Pic. Bên trái để xem thông số kỹ thuật chi tiết)
• Một màn trập được xây dựng trên mặt bích (vận hành bằng tay)
• Một 10 L / min khiển kỹ thuật số máy làm lạnh nước tuần hoàn được bao gồm để làm mát đầu thổi (nhấp Pic. Trái với thông số kỹ thuật chi tiết)
•      

Phún xạ Target

• Kích thước mục tiêu yêu cầu: 1 "đường kính x 1/8" thicknes Max.
• Ba mục tiêu gốm Al2O3 với tấm đóng gói đồng mới có để thử nghiệm bản demo
• Oxit khác nhau 1 "mục tiêu phún xạ được cung cấp theo yêu cầu trên có thêm chi phí.

• Máy hút bụi Phòng: 256 mm x 250 mm OD ID x 276 mm H Chiều cao. làm bằng thạch anh tinh khiết cao.
• Niêm phong bích: 274 mm mm Dia. làm bằng nhôm với nhiệt độ cao silicone O-ring
• Stailess nắp lưới thép được bao gồm cho 100% bức xạ che chắn RF từ buồng
• Max. độ chân không: 10 ^ -5 torr với buồng nướng
•  

Chủ mẫu 

• Chứa mẫu là rotable và heatable làm bằng gốm nóng với vỏ thép không gỉ.
• cỡ mẫu giữ: 50 mm dia. cho. 2 "wafer max
• Tốc độ quay có thể điều chỉnh: 1-20 rpm cho lớp phủ thống nhất
• Nhiệt độ giữ là điều chỉnh từ RT đến 600 ° C Max với độ chính xác +/- 1,0 ° C thông qua bộ điều khiển nhiệt độ kỹ thuật số.

• Một chính xác cảm biến độ dày thạch anh được xây dựng vào buồng để giám sát độ dày lớp phủ với độ chính xác 0,10 Å
• LED Display Unit buồng bên ngoài có thể:
  • Nguyên liệu đầu vào đã được phủ theo cơ sở dữ liệu bao gồm
  • Hiển thị tổng độ dày lớp phủ tráng và tốc độ
• Cảm biến 5 chiếc thạch anh (tiêu hao) được bao gồm
• Nước làm mát được yêu cầu

• KF25 cổng hút chân không được xây dựng trong để kết nối với một máy bơm hút chân không. Vui lòng nhấn vào hình bên trái để xem máy bơm cơ khí
• Độ chân không: 10-3 Torr với bao gồm giai đoạn kép bơm cơ khí.
• 10 ^ -5 torr với bơm tăng áp tùy chọn

Khối Lượng Tịnh

50 kg

Bảo hành & Compliance

• Bảo hành một năm hạn chế với sự hỗ trợ trọn đời
• CE chứng nhận

Operation Instruction

Ghi chú ứng dụng 
      

•  
• Compact 2 "RF máy bào này được thiết kế cho các lớp phủ oxit màng mỏng trên bề mặt tinh thể oxit duy nhất, mà thường là không cần chân không cao thiết lập.
• Để loại bỏ oxy từ buồng, đề nghị bạn sử dụng 5% Hytrogen + 95% Nitơ để buồng clan 2-3 lần, có thể làm giảm oxy xuống dưới 10 ppm
• Vui lòng sử dụng> tinh khiết 5N Argon khí cho phún xạ plasma. Mặc dù độ tinh khiết 5N Ar, thường chứa 10- 100 ppm oxy và H2O nhà cung cấp dependedon. Đề nghị bạn nên sử dụng thiết bị lọc khí được liệt kê dưới đây để làm sạch khí trước khi điền vào: (bấm vào pic để đặt hàng)
• MTI cung đơn tinh chất nền từ A đến Z (nhấp vào hình ảnh bên trái để đặt hàng). Đối với proformance tốt nhất, mục tiêu phi conducytive phải cài đặt một tấm đệm đồng. . Vui lòng nhấn vào Hình dưới đây - bên trái để xem làm thế nào để tất cả Instpltare sao lưu vào một mục tiêu
• MTI RF Plasma phún coaters đã phủ thành công ZnO trên đế Al2O3 ở 500C, xin vui lòng nhấp vào hình ảnh dưới đây để xem hồ sơ XRD của nó.