• 220VAC 50 / 60Hz, một pha
• 2000W (bao gồm máy bơm)

• Hai nguồn năng lượng phún xạ được tích hợp vào một hộp điều khiển (kích vào ảnh dưới đây để xem thông số kỹ thuật chi tiết)
  • DC nguồn: 500W cho vật liệu kim loại sơn phủ (dưới, bên trái)
  • Nhỏ gọn 300 RF nguồn có sẵn tại thêm chi phí (Dưới bên phải)

 

Magnetron sputtering Head 
 

• Hai 2 "magnetron sputtering Heads với áo nước làm mát được bao gồm (nhấp vào hình ảnh bên trái để xem thông số kỹ thuật chi tiết)
  • Một được kết nối với RF cung cấp điện cho không dẫn điện vật liệu
  • Một được kết nối với nguồn điện DC phún xạ cho lớp phủ vật liệu kim loại
  • Target yêu cầu kích thước: đường kính 2 "
  • Phạm vi độ dày: 0,1-5 mm cho cả hai kim loại và không dẫn điện tiêu
  • Một thép không gỉ và một Al2O3 tiêu gốm có để thử nghiệm bản demo
• Cần 10ml nước chảy / phút, và một 16ml / phút khiển kỹ thuật số máy làm lạnh nước tuần hoàn được bao gồm để làm mát cả hai đầu phún xạ magnetron: Head Nước làm lạnh
• Coater Customized: Hai DC đầu mà không có, phún xạ RF, RF đầu mà không DC sputering, 3 đầu RF được cung cấp theo yêu cầu
• Tùy chọn: 4 "Sputterings magnetron được cung cấp theo yêu cầu khách phải trả thêm chi phí (nhấp pic dưới đây -Đúng 2 đến thứ tự)
•  
• 148 cm cáp RF là replaceale với thêm chi phí (nhấp Pic. Đúng 1 để đặt hàng)

  

Máy hút bụi Phòng 
 

• Máy hút bụi Phòng: 300 mm chiều cao Dia x 300 mm, làm bằng thép không gỉ
• Quan sát cửa sổ: 100 mm đường kính
• Loại có bản lề nắp trên đầu trang với môn thể thao mùa xuân không khí làm cho giá mục tiêu dễ dàng

Chủ mẫu

• Mẫu kích thước chủ: 140mm dia. cho. 4 "wafer max
• Mẫu tốc độ quay chủ có thể điều chỉnh: 1-20 rpm cho lớp phủ thống nhất
• Nhiệt độ giữ là điều chỉnh từ RT đến 500 ° C Max với độ chính xác +/- 1,0 ° C

Gas Flow Control 
 

• Hai chính xác kỹ thuật số MFC (điều khiển lưu lượng khối) được cài đặt để cho phép hai loại khí được điền
• Lưu lượng: 200 ml / min max.
• Tốc độ dòng chảy có thể điều chỉnh trên bảng điều khiển 6 "màn hình cảm ứng

• Tốc độ cao, hệ thống bơm tăng áp chân không (sản xuất tại Đức) được cài đặt trực tiếp vào buồng chân không để max. độ chân không
• Nhiệm vụ nặng máy bơm cơ khí giai đoạn hai được kết nối với máy bơm turbo cho tốc độ bơm nhanh hơn
• Điện thoại di động trạm bơm được bao gồm và các phương pháp phún xạ máy bào nhỏ gọn có thể được đặt trên đầu trang của trạm
• Max. độ chân không: 10 ^ -6 torr với buồng nướng

• Một chính xác cảm biến độ dày thạch anh được xây dựng vào buồng để giám sát độ dày lớp phủ với độ chính xác 0,10 Å
• LED Display Unit buồng bên ngoài có thể:
  • Nguyên liệu đầu vào đã được phủ theo cơ sở dữ liệu bao gồm
  • Hiển thị tổng độ dày lớp phủ tráng và tốc độ
• Cảm biến 5 chiếc thạch anh (tiêu hao) được bao gồm
• Nước làm mát được yêu cầu

Thước tổng thể

L1300mm × W660mm × H1200mm

Khối Lượng Tịnh

160 kg

Sự bảo đảm

Operation Instruction

Ghi chú ứng dụng 
 

• Để loại bỏ oxy từ buồng, đề nghị bạn sử dụng 5% Hytrogen + 95% Nitơ để buồng clan 2-3 lần, có thể làm giảm oxy xuống dưới 10 ppm
• Vui lòng sử dụng> tinh khiết 5N Argon khí cho phún xạ plasma. Mặc dù độ tinh khiết 5N Ar, thường chứa 10- 100 ppm oxy và H2O nhà cung cấp dependedon. Đề nghị bạn nên sử dụng thiết bị lọc khí được liệt kê dưới đây để làm sạch khí trước khi điền vào: (bấm vào pic để đặt hàng)
• MTI cung đơn tinh chất nền từ A đến Z (nhấp vào hình ảnh bên trái để đặt hàng). Đối với proformance tốt nhất, mục tiêu phi conducytive phải cài đặt một tấm đệm đồng. . Vui lòng nhấn vào Hình dưới đây - bên trái để xem làm thế nào để cài đặt ủng hộ pltare vào một mục tiêu
• MTI RF Plasma phún coaters đã phủ thành công ZnO trên đế Al2O3 ở 500C, xin vui lòng nhấp vào hình ảnh dưới đây để xem hồ sơ XRD của nó.