EQ-MTS03 là một phần mềm 3-trong-1 được xây dựng để theo dõi nhiệt độ, áp suất và lưu lượng khí cùng một lúc trong một giao diện phần mềm. Nó cho phép người sử dụng để: 

• Nhiệt độ: Điều khiển nhiệt độ và màn hình trong MTI lò. Bắt đầu / giữ / chương trình sưởi ấm dừng. Giám sát khu nhiệt độ một hoặc nhiều trong mô-đun kiểm soát một máy tính lò. Là cần thiết cho một module cho mỗi vùng nhiệt (bộ điều khiển nhiệt độ). Xin chọn số của module PC trên thanh tùy chọn. Các mô-đun máy tính là giống như một trong EQ-MTS02 .
• Tỷ lệ lưu lượng khí: Kiểm soát và theo dõi điều khiển lưu lượng. Thiết lập và giám sát tốc độ dòng khí. Mở / đóng các giá trị MFC. Gột rửa buồng xử lý.
• Áp suất:. Áp Monitor bên trong cảm biến áp suất phản ứng buồng là cần thiết và cần phải được đặt hàng riêng biệt.

15,5 "máy tính xách tay với phần mềm cài đặt sẵn là có sẵn tại $ 599 / ea. Xin hãy chọn nó ở thanh tùy chọn.

Cấu hình phần mềm mặc định: 
CVD chế độ lò: 3 khu sưởi ấm + 4 kênh điều khiển lưu lượng * Cấu hình này là phù hợp cho lò CVD . 
Chế độ lò cao áp: 3 khu sưởi ấm + 1 cảm biến áp suất màn hình + 2 kênh điều khiển lưu lượng * Cấu hình này là tiện lợi và hữu ích cho việc sử dụng với Hig h Áp suất lò ống . 
Chúng tôi cài đặt trước hai cấu hình này trong phần mềm. Người dùng có thể chọn để sử dụng cho phù hợp. 
Conbination khác có sẵn theo yêu cầu. 

Giao diện phần mềm: 
  

Các gói tiêu chuẩn bao gồm: 
Phần mềm CD x1 
Đầu mối giao thông x 1 
Cáp thông tin liên lạc lò x 1 
Cáp thông tin liên lạc MFC x 1 
Cáp thông tin liên lạc sonsor áp lực x 1 
Cáp PC x 1