EQ-PDC-001 là kích thước trung sạch plasma với 6 "dia x 6.5" buồng thạch anh L. Nó được thiết kế để làm sạch và loại bỏ nano quy mô ô nhiễm hữu cơ trên bề mặt hoặc wafer lên đến 4 "sử dụng không khí, oxy, hoặc argon plasma. Tỷ lệ loại bỏ chất hữu khoảng 20 nm / phút Max. Ở công suất RF cao. Nó là tuyệt vời công cụ để pre-sạch bề mặt tinh thể duy nhất trước khi lắng đọng phim epitaxy để đạt được chất lượng tốt hơn Nếu bạn không có kinh nghiệm để làm sạch bề mặt bằng plasma, xin vui lòng tham khảo các bài viết như sau.:

Thông số kỹ thuật