4 "SiC-3C Undoped Epi phim như CMP trên cả hai mặt của Silicon (111) Wafer sau khi tăng trưởng epitaxy, 1.1 um Dày

Giá : Liên Hệ

Nội dung chi tiết:

Thông số kỹ thuật:

  • Film: SiC Epi phim với cấu trúc 3C trồng bởi PECVD
    • Độ dày: 1,1 um +/- 10%
    • Định hướng: 3C SiC (111)
    • Bề mặt: CMP (phim chất cơ học đánh bóng) trên cả hai mặt với Ra <5 Angstrom
    • Target cấp doping: <1.0E16 / cc
    • Loại và dopant: loại N, Undoped
    • Các khuyết tật bề mặt mật độ (kiểm tra bằng kính hiển vi tinh thể hoặc macro-khuyết tật khác) <= 3E3cm ^ 2
  • Silicon chất nền:
    • Kích thước: 100 mm độ dày dia x 0,525 mm
    • Định hướng: (111)
    • Loại: Loại N / P pha tạp
    • Điện trở suất: 1- 10 ohm.cm
    • Ba Lan: cả hai bên đánh bóng  
  •  
  •   Các FWHM của SiC (002) nằm trong khoảng 0,25 ° (trung tâm wafer) - 0.27 ° (biên giới wafer). Từ quan điểm này các epilayer là rất đồng nhất. (Ảnh trái)
  • 0,25-0,27 ° là một giá trị tiêu chuẩn của SiC (002) FWHM cho dòng sản phẩm này có độ dày (~ 1.5μm). Trên đồ thị bên dưới, bạn có thể xem kết quả thu được ở trung tâm của các mẫu khác nhau như- trồng có độ dày khác nhau. Các điểm màu đỏ đại diện cho mẫu của bạn. (Hình ảnh trung tâm)
  • Liên quan đến việc khoan dung định hướng của 3C-SiC epilayer, nó được xác định bởi sự khoan dung định hướng của nền Si. Tôi sẽ cố gắng để có được thông tin này từ nhà cung cấp của chúng tôi Si. Để biết thông tin của bạn: cho epiwafers trên trục ta không quan sát bất kỳ độ nghiêng giữa phim 3C-SiC và Si chất nền.Đối với sự lắng đọng trên off-trục chất nền độ nghiêng cao nhất chúng tôi quan sát được là ~ 0,4 ° theo hướng off-cut. (Hình phải)

 

Để lại lời nhắn
Họ tên
Email
Nội dung
 

Sản phẩm liên quan

Quảng cáo

Video

Thống kê

Số người đang online: 6
Số truy cập hôm nay: 3916
Tổng số người truy cập: 3142241

Tìm kiếm

Box hình ảnh

Tin tức mới

  •  01 NAM NHÂN VIÊN KỸ THUẬT - VỀ THIẾT BỊ PTN LAB

    01 Nam kỹ thuật về Thiết bị Phòng thí nghiệm. Yêu cầu: Trình độ Đại học (Tốt nghiệp chuyên ngành Kỹ thuật: KHOA HỌC CÔNG NGHỆ VẬT LIỆU, Hóa học, Sinh học, Dược học, Vật Liệu, Nông lâm, Cơ Khí, Y Dược, Môi Trường, Vật Lý, Điện, Xây dựng...). ð Lương thỏa thuận, tùy theo năng lực: từ 5-7 triệu (Thử việc 1 tháng = 70% lương chính). Ngày đăng: 07/06/2019 có hiệu lực đến 31/12/2019
  •  Aero-X Hoverbike: Chiếc xe trượt không khí đầu tiên trên thế giới

    "Xe bay" Aero-X do công ty Aerofex thiết kế sẽ được hoàn thiện và bán ra thị trường vào năm 2017, được nhiều người kỳ vọng rằng đây sẽ là phương tiện giao thông của tương lai.
  •  Phân loại dầu,chức năng của dầu trong máy nén khí

    Mỗi hãng có một công loại dầu và đặc tính khác nhau hoặc gần giống nhau. Có nhiều cách để phân loại phân loại theo chỉ số nhớt hay các tiêu chuẩn, phụ gia...Về căn bản dầu công nghiệp được phân làm hai loại tùy vào gốc chiết suất ra nó. Dầu có gốc tổng hợp Dầu có gốc khoáng
  •  Cơ sở lý thuyết về khí nén

    Ứng dụng khí nén có từ thời trước Công nguyên, tuy nhiên sự phát triển của khoa học kỹ thuật thời đó không đồng bộ, nhất là kiến thức về cơ học, vật lý, vật liệu … còn thiếu, cho nên phạm vi ứng dụng của khí nén còn rất hạn chế.
  •  Học bổng trường đại học kỹ thuật Swinburne

    Đại học Kỹ thuật Swinburne được xếp vào Top 400 trường Đại học hàng đầu thế giới và Top 3 các Đại học tại Melbourne theo Bảng Xếp hạng học thuật các trường Đại học trên thế giới 2012 (Academic Rankings of World Universities).

Bản đồ

Tải về

Liên kết

Nhận email

Dịch

Hỗ trợ trực tuyến

  • Nam ý
    098 918 2955
  • Tư vấn
    090 265 9944
  • Hotline: 0902659944-0989182955

Like facebook