Nội dung chi tiết:
Mg- pha tạp GaN Epitxial Mẫu trên sapphire được thực hiện bằng phương pháp MOCVD dựa trên. Thông số kỹ thuật
Mg-pha tạp P-type GaN epitaxy Mẫu trên sapphire, Thủ Grade
GaN Độ dày: 2 um +/- 10%
Kích thước: 50.8 mm +/- 0,25 mm
Điện trở suất: <0.5 Ohm-cm
Doping Nồng độ:> 5E17 / cc
Trật khớp Mật độ: (2-3) E8 cm ^ -2
Mặt trước: Ga-mặt, như trồng \ Trở lại bề mặt: như đón nhận
Chất nền: c-plane sapphire, SSP phía đơn đánh bóng
Cấu trúc: 350um Sapphire / 1.5um GaN: nid / 2um GaN: Mg> 5E17 / cc
|
Để lại lời nhắn
Họ tên | |
Nội dung | |