Boron Nitride Film

Boron nitride là một hợp chất hóa học có công thức hóa học BN, bao gồm số lượng bằng nhau của bo và nitơ nguyên tử. BN là isoelectronic để một lưới carbon có cấu trúc tương tự và do đó tồn tại ở dạng tinh thể khác nhau. Các Cubic (cấu trúc sphalerit) bariety tương tự như kim cương được gọi là c-BN. Độ cứng của nó là kém hơn chỉ sau kim cương, nhưng sự ổn định nhiệt và hóa học của nó là cao. Lắng đọng thấp áp lực của màng mỏng boron nitride được trồng trên Si (100) Bánh cho sản phẩm này.

• BN bao phim bằng phương pháp phún xạ
• Độ dày BN: 24 nm +/- 10%

Silicon wafer Thông số kỹ thuật:

• Loại dẫn điện: Si loại n-
• Điện trở suất: 1- 10 ohm-cm
• Kích thước: 4 "đường kính +/- 0,5 mm x 0,525 +/- 0,025 mmth
• Định hướng: (100) +/- 0.5 ^o
• Ba Lan: Một bên đánh bóng
• Bề mặt gồ ghề: Thủ
• Đóng gói: Máy hút gắn trên một con 4 "wafer đơn hộp tàu sân bay